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三星电子 SF1.0 工艺采用 forksheet 器件结构 目标 2030 年前开发

引言:据韩媒报道,三星电子晶圆代工业务确立2030年前完成1nm级SF1.0制程工艺开发并实现量产的目标。该工艺将采用forksheet叉片晶体管结构,这是现有GAA全环绕栅极晶体管的演进版本,可进一步提升晶体管密度与性能。

三星电子 SF1.0 工艺采用 forksheet 器件结构 目标 2030 年前开发

《韩国经济日报》当地时间3月30日援引业内消息报道称,三星电子的晶圆代工业务已定下2030年前完成1nm级先进制程工艺SF1.0开发并转移至量产阶段的目标。

报道指出,SF1.0将采用forksheet叉片晶体管器件结构,这是现有nanosheet GAA全环绕栅极晶体管的演化版本。与标准GAA结构相比,forksheet结构新增了介质壁设计,可进一步提升晶体管密度与性能。根据国际半导体研究机构imec的研究资料,该结构又分为“内壁”与“外壁”两种类型:内壁forksheet的介质壁位于nMOS与pMOS之间,而外壁forksheet的介质壁则位于p-n结外侧。

在制程路线规划方面,三星电子计划2027年实现SF2P+工艺的商业化投产。此外,特斯拉的AI6芯片将采用三星的SF2T工艺,于2027年进入量产阶段。

值得关注的是,三星电子正在加大先进制程领域的研发投入,以期在2030年前实现1nm级工艺的突破。这将是半导体制造领域的重要里程碑,标志着芯片晶体管密度和性能将达到新的高度。

文章来源:网络

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